檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "碳化矽".ckeyword (精準) and year="97"
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本論文的研究內容可以分成三個階段來探討,第一階段是利用SLS機制直接於矽基材上成長矽奈米線,實驗採用金顆粒作為催化劑,並使用石英管爐通入氫氬混合氣後加熱至850 ℃以上來成長矽奈米線,並改變溫度與持…
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本論文的主題分為四部分: (1)以SiH4、C2H2和H2為反應物的低壓化學氣相沉積系統探討Si(111)上碳化緩衝層表面的石墨化及其對成長3C-SiC(111)磊晶膜的影響之研究; (2)以SiH…
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本研究以三甲基硼(TMB)為摻雜物,使用射頻電漿輔助化學氣相沉積系統(RF-PECVD)於玻璃基材上成長p型非晶碳化矽以及p型微晶矽薄膜,並分析其結構及光電性質,期望能製備出適用於薄膜太陽能電池的p…